納米位移臺(tái)傳感器是一種用于測(cè)量微小尺度物體的移動(dòng)和變形的傳感器。這些傳感器通常由微納加工技術(shù)制造而成，可以測(cè)量納米級(jí)別的位移和變形。 納米位移臺(tái)傳感器可以用于許多應(yīng)用，例如測(cè)量納米級(jí)別的結(jié)構(gòu)變化，研究材料的力學(xué)性質(zhì)和納米機(jī)器人的控制等。這些傳感器通常采用光學(xué)或電學(xué)測(cè)量方法，包括利用激光干涉法、原子...