校準(zhǔn)納米位移臺(tái)（nanopositioning stage）的移動(dòng)范圍是確保其位移精度、重復(fù)性和線性響應(yīng)的關(guān)鍵步驟。以下是完整的校準(zhǔn)流程與注意事項(xiàng)，不含表格或圖標(biāo)，僅保留清晰的文字說(shuō)明：
一、為什么需要校準(zhǔn)
出廠默認(rèn)標(biāo)定值可能不適用于你當(dāng)前的工作環(huán)境（溫度、負(fù)載等）。
長(zhǎng)時(shí)間使用后可能出現(xiàn)漂移或非線性偏差。
外接控制器或軟件接口更新后需要重新匹配精確位移量。
二、常見(jiàn)校準(zhǔn)方式
1. 使用干涉儀或激光測(cè)距儀
原理：通過(guò)高精度位移傳感器（如 Michelson 干涉儀）測(cè)量真實(shí)移動(dòng)距離。
步驟：
將干涉儀反射鏡固定在位移臺(tái)上。
輸入一段控制信號(hào)（如移動(dòng) 10 微米）。
讀取實(shí)際測(cè)得的位移值。
若有偏差，調(diào)整比例因子（scale factor）或控制系統(tǒng)的轉(zhuǎn)換參數(shù)。
2. 使用標(biāo)準(zhǔn)光柵尺或編碼器標(biāo)尺
原理：通過(guò)帶有已知分辨率的光柵尺檢測(cè)實(shí)際位移。
步驟：
將光柵尺貼合在運(yùn)動(dòng)路徑上。
控制位移臺(tái)在單位步長(zhǎng)下運(yùn)動(dòng)，并記錄實(shí)際移動(dòng)數(shù)據(jù)。
計(jì)算每步響應(yīng)是否線性一致。
校準(zhǔn)控制軟件中的轉(zhuǎn)換比例。
3. 使用已知結(jié)構(gòu)樣品（如 SEM、AFM 或光學(xué)顯微鏡下的樣品）
適用于科研環(huán)境。
方法：
讓位移臺(tái)移動(dòng)到兩個(gè)微結(jié)構(gòu)之間（間距已知）。
比較軟件記錄的位移值與實(shí)際間距。
反復(fù)測(cè)試后修正系統(tǒng)中的偏移量或非線性系數(shù)。
三、軟件校準(zhǔn)流程（以常見(jiàn)控制軟件為例）
進(jìn)入軟件設(shè)置界面，查找“軸校準(zhǔn)”或“移動(dòng)范圍標(biāo)定”功能。
輸入已知的標(biāo)準(zhǔn)步長(zhǎng)，例如移動(dòng) 100 個(gè)控制單位。
讀取實(shí)際測(cè)量值（通過(guò)干涉儀、光學(xué)尺或標(biāo)準(zhǔn)樣）。
軟件根據(jù)差異自動(dòng)調(diào)整校準(zhǔn)系數(shù)。
保存設(shè)置，重新測(cè)試以確認(rèn)是否精確。