納米位移臺(tái)在同步掃描中的時(shí)間延遲是一個(gè)常見但影響成像或測量精度的問題。它可能來自驅(qū)動(dòng)器、控制系統(tǒng)、傳感器響應(yīng)，或軟件處理延時(shí)。想要補(bǔ)償這類延遲，關(guān)鍵在于提前建模、預(yù)測響應(yīng)并在控制邏輯中進(jìn)行校正。下面是幾種常用方法： 1. 前饋補(bǔ)償（Feedforward Compensation） 這是直接的方式： 在控制指令發(fā)出時(shí)，加入預(yù)...

減少納米位移臺(tái)在高速移動(dòng)中產(chǎn)生的慣性誤差（如位置偏移、振動(dòng)等）是提升系統(tǒng)精度和穩(wěn)定性的關(guān)鍵。以下是一些有效的減少慣性誤差的方法： 1. 優(yōu)化驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)性 高響應(yīng)性驅(qū)動(dòng)器：選擇高響應(yīng)性的驅(qū)動(dòng)器，如伺服電機(jī)、步進(jìn)電機(jī)、壓電驅(qū)動(dòng)器等，這些驅(qū)動(dòng)器能夠迅速反應(yīng)并調(diào)整運(yùn)動(dòng)方向，從而減少慣性帶來的誤差。 精準(zhǔn)控...

提高納米位移臺(tái)的動(dòng)態(tài)范圍（即系統(tǒng)能夠精確控制和測量的位移范圍）是提升其性能的一個(gè)重要方面。動(dòng)態(tài)范圍的提高通常意味著在保證高精度的同時(shí)，能夠處理更大范圍的位移。以下是一些常見的方法： 1. 優(yōu)化反饋控制系統(tǒng) 精細(xì)化控制：通過優(yōu)化閉環(huán)控制算法（如PID控制、模糊控制等），可以在小位移時(shí)保持高精度，同時(shí)保證在...

減少納米位移臺(tái)在高速運(yùn)動(dòng)時(shí)的振動(dòng)是保證其高精度、穩(wěn)定性和可靠性的關(guān)鍵，尤其在進(jìn)行精密成像、定位或掃描時(shí)。以下是一些減少振動(dòng)的有效方法： 一、優(yōu)化運(yùn)動(dòng)軌跡 平滑加速和減速 避免劇烈的加速和減速，因?yàn)檫@些變化容易引起瞬時(shí)高頻振動(dòng)。 使用S型加速/減速曲線，逐漸調(diào)整速度，避免陡峭的加速階段，減少由于慣性帶來...

納米位移臺(tái)在長時(shí)間運(yùn)行中確實(shí)會(huì)出現(xiàn)漂移現(xiàn)象。這是高精度定位系統(tǒng)中的一個(gè)常見問題，尤其是在要求納米級(jí)穩(wěn)定性的應(yīng)用中（如掃描探針顯微鏡、曝光、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)等）。 一、什么是“漂移”？ “漂移”是指： 在沒有指令或控制信號(hào)變化的情況下，位移臺(tái)的輸出位置隨時(shí)間緩慢發(fā)生偏移。 它可能是幾納米/秒，也可能在數(shù)分鐘內(nèi)累積到...

納米位移臺(tái)在高速運(yùn)動(dòng)時(shí)出現(xiàn)自激振蕩（self-excited oscillation），主要是因?yàn)橄到y(tǒng)的動(dòng)態(tài)特性和反饋控制機(jī)制在高速度條件下激發(fā)了某些本征頻率或不穩(wěn)定模態(tài)。 我們來詳細(xì)解釋一下其中的原理、原因，以及如何預(yù)防這種現(xiàn)象： 一、什么是自激振蕩？ 自激振蕩是指： 系統(tǒng)內(nèi)部由于結(jié)構(gòu)特性或控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)不當(dāng)，在沒有外部周...